提供32（Mini-DM）或140（Miti-DM）个驱动器的型号BostonMicromachinesCorporation提供1020（Kilo-DM）个驱动器的型号3.5微米的Z大驱动器位移驱动器中心到中心间距为400微米，驱动器间的低耦合获得高空间分辨率驱动器运行零滞后14位驱动电子元件产生亚纳米的重复性内置高压电源的紧凑型驱动电路，可变形反射镜