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白光光源结构及特点用途介绍,快看

点击次数:100 发布时间:2020-08-14
 白光光源是一款高亮度,高稳定、长寿命宽光谱光源,采用革命性的光源技术----LDLS™激光驱动光源技术,使用高功率连续激光直接聚焦氙灯内的氙离子加热至非常高的的温度,从而发出高效的宽频谱光。具有高可靠性,高性能,高亮度,长寿命,紫外功率高等特点。
 
其整体由一个特殊设计的灯室,驱动激光光源,激光聚焦光路,光源输出光路,光源控制器等主要部分组成。和传统电致发光光源原理不同,其采用无电极结构,将外置1000 nm左右波长的激光汇聚到光源灯室中,加热氙等离子体至足够高温时便会发光。
 
白光光源有高效的光收集能力,亦可在深紫外至可见光以及更宽的光谱范围(170 nm ~ 2100 nm)内提供超高发光亮度,其在DUV的亮度是传统光源如氙灯的10倍以上。另外,整个光源的发光寿命相比较于传统光源也高出近一个数量级(>9000 h),且稳定性得到了很大的提高。
 
非常适合应用于宽光谱检测、OCD量测、薄膜测厚、overlay量测、in situ量测、反应腔监控、终点检测等半导体领域,以及光学传感器/组件/光纤检测、生物/材料科学等领域。白光光源为目前在使用传统弧光灯,但是苦于频繁更换、波长覆盖不足、亮度不够的用户,提供了一个新的选择。
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